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清洗晶圓的等離子清洗機(jī)相比其他等離子清洗機(jī)的差別
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作者:深圳金徠
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發(fā)布時(shí)間: 1475天前
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清洗晶圓的等離子清洗機(jī)相比其他等離子清洗機(jī)的差別
1、等離子清洗晶圓是在千級(jí)以上的無(wú)塵室中進(jìn)行的，對(duì)微顆粒的要求極高，任何超標(biāo)的微顆粒存在，都會(huì)造成晶圓不可挽回的缺陷。所以設(shè)計(jì)等離子清洗機(jī)的腔體首先一定要是鋁質(zhì)，而不是不銹鋼材質(zhì)；擺放晶圓的托架滑動(dòng)部分，要盡量采用不容易產(chǎn)生粉塵和被等離子腐蝕的材料；電極和托架方便拆卸，便于日常維護(hù)。
2、 等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體內(nèi)的電極間距和層數(shù)，以及氣路分布，對(duì)于晶圓處理的均勻性都重大的影響，這些指標(biāo)都需要不斷試驗(yàn)來(lái)優(yōu)化。
3、等離子清洗晶圓的過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生一定的熱量累積，處于工藝的需要，維持電極板的溫度在一定范圍是必要的，所以通常會(huì)給等離子清洗機(jī)的電極加上水冷。
4、 多層電極的等離子清洗機(jī)產(chǎn)能比較高，可以根據(jù)需要每一層托架上擺放多片晶圓，比較適合于半導(dǎo)體分立器件、電力電子元器件專(zhuān)用4寸及6寸晶圓的光刻底膜去除等。
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